高度な清浄実験環境を必要とするナノテクノロジー分野の研究のため,研究棟1階にクリーンルームを設置しています。
このクリーンルームは,磁気シールド室を含む60m×2のClass100, 280m×2のClass10,000を,上階に準クリーンルーム室を設けています。
ちなみに,Class100とは,1ft×3(約28リットル)の中に0.5ミクロン以上の塵が100個あることを指しますが,これが郊外住宅地では,約40万〜50万個あることからも,クリーンルームは,いかに清浄な環境を保っているかが,お分かりになると思います。 |