国立大学法人北海道大学マテリアル先端リサーチインフラ事業による設備利用規程

○国立大学法人北海道大学マテリアル先端リサーチインフラ事業による設備利用規程

平成25年4月1日

海大達第53号

(趣旨)

第1条　この規程は、文部科学省の委託を受けて国立大学法人北海道大学(以下「本学」という。)が行うマテリアル先端リサーチインフラ事業(以下「本事業」という。)に基づく設備の利用に関し、必要な事項を定めるものとする。

(目的)

第2条　本事業は、マテリアル(物質、材料及びデバイスをいう。以下この条において同じ。)に関する最先端の研究設備及びその活用技術を有する本学が、産学官の研究者に設備の幅広い利用の機会を提供することにより、マテリアルに関する産学官連携及び異分野融合につながる研究を推進することを目的とする。

(利用対象者)

第3条　本事業に基づき設備を利用することができるのは、次の各号のいずれかに該当する者(次条において「利用対象者」という。)とする。

(1)　本学の職員

(2)　本学の学部学生、大学院学生、聴講生、科目等履修生その他の本学において修学をしている者

(3)　本学の研究生、受託研究員その他の本学において研究に従事している者

(4)　学術研究のために設備を利用する本学以外の大学又は公的機関に所属する者

(5)　研究開発等のために設備を利用する民間企業その他の法人に所属する者

(6)　その他国立大学法人北海道大学創成研究機構長(以下「機構長」という。)が適当と認めた者

(利用形態)

第4条　本事業における設備の利用形態は、次に掲げるとおりとする。

(1)　設備利用　利用対象者が本学において自ら設備の操作等を行う。

(2)　技術補助　利用対象者が本学において本事業の実施に係る支援業務に携わる職員(以下この条において「支援員」という。)の立会いの下、支援員の技術的な補助を受けつつ、自ら設備の操作等を行う。

(3)　技術代行　利用対象者からの委託に基づき、支援員が設備を操作して各種加工及び解析を行う。

(4)　技術支援　前3号に掲げる利用形態による利用に先立ち、支援員が試料の調整又は最適化の作業を行う。

(5)　技術相談　利用対象者からの相談に対し、支援員が技術的な助言等を行う。

(申請及び許可)

第5条　本事業に基づく設備の利用を申請しようとする者(次項において「申請者」という。)は、別に定める申請書を機構長に提出し、その許可を受けなければならない。

2　申請者は、設備利用により得られたデータを本学が別表第1に掲げる本事業の関係機関に提供し、並びに本学及び同機関が利用することに同意するか否かを前項の申請書に記入するものとする。

3　機構長は、第1項の規定による申請があったときは、国立大学法人北海道大学創成研究機構規程(平成21年海大達第24号)第16条の4に規定するナノテクノロジー連携研究推進室(次項において「推進室」という。)に当該申請に係る審査を付託するものとする。

4　推進室は、機構長からの審査の付託があったときは、当該申請の内容が適当であるかについて審査を行い、その結果について機構長に報告するものとする。

5　機構長は、前項の規定による報告に基づき、第1項の規定による申請について承認するか否かの決定を行い、申請書を提出した者に速やかに通知するものとする。

(利用料等)

第6条　利用申請が承認された者(以下「利用者」という。)は、設備の利用形態及び第5条第2項の規定による同意をする場合にあっては別表第2の1の第1欄から第4欄までに掲げる区分、同項の規定による同意をしない場合にあっては別表第2の2の第1欄から第4欄までに掲げる区分に応じて、基本料及び設備利用に要する費用の一部(以下「利用料」という。)、技術補助に要する費用の一部(以下「技術補助料」という。)又は技術代行に要する費用の一部(以下「技術代行料」という。)を納付するものとし、その額は、次の各号の区分に応じ当該各号に定める額とする。

(1)　基本料及び利用料

イ　第3条第1号から第3号までに掲げる者(以下「学内者」という。)　別表第2の1又は別表第2の2の第5欄に掲げる基本料の額とこれらの表の第7欄に掲げる利用料の額に利用する時間数を乗じて得た額とを合算した額

ロ　第3条第4号掲げる者(以下「学外者(大学・公的機関)」という。)　別表第2の1又は別表第2の2の第6欄に掲げる基本料の額とこれらの表の第8欄に掲げる利用料の額に利用する時間数を乗じて得た額とを合算した額

ハ　第3条第5号及び第6号に掲げる者(以下「学外者(一般)」という。)　別表第2の1又は別表第2の2の第6欄に掲げる基本料の額とこれらの表の第9欄に掲げる利用料の額に利用する時間数を乗じて得た額とを合算した額

(2)　技術補助料

イ　学内者　別表第2の1又は別表第2の2の第10欄に掲げる技術補助料の額に利用する時間数を乗じて得た額

ロ　学外者(大学・公的機関)　別表第2の1又は別表第2の2の第11欄に掲げる技術補助料の額に利用する時間数を乗じて得た額

ハ　学外者(一般)　別表第2の1又は別表第2の2の第12欄に掲げる技術補助料の額に利用する時間数を乗じて得た額

(3)　技術代行料

イ　学内者　別表第2の1又は別表第2の2の第13欄に掲げる技術代行料の額に利用する時間数を乗じて得た額

ロ　学外者(大学・公的機関)　別表第2の1又は別表第2の2の第14欄に掲げる技術代行料の額に利用する時間数を乗じて得た額

ハ　学外者(一般)　別表第2の1又は別表第2の2の第15欄に掲げる技術代行料の額に利用する時間数を乗じて得た額

2　利用者が、技術支援を受けたときは、技術支援料を納付するものとし、その額は、次の各号の区分に応じ当該各号に定める額に技術支援を受けた時間数を乗じて得た額とする。ただし、当該技術支援が高度な知識及び経験を必要とする作業、複数の技術を組み合わせる作業その他難易度の高い作業を伴う場合における技術支援料は、この項本文の規定により算出された額に2を乗じて得た額とする。

(1)　学内者　4,000円

(2)　学外者(第3条第4号から第6号までに掲げる者をいう。以下同じ。)　4,400円

3　利用者が、技術相談を行ったときは、技術相談料を納付するものとし、その額は、次の各号の区分に応じ当該各号に定める額に相談を行った時間数を乗じて得た額とする。

(1)　学内者　10,000円

(2)　学外者　11,000円

4　前3項の規定にかかわらず、機構長が特に認めるときは、前3項に規定する料金の全部又は一部を免除することができる。

5　基本料、利用料、技術補助料、技術代行料、技術支援料及び技術相談料の納付は、学内者にあっては経費の振替により、学外者にあっては本学が指定する預金口座へ本学が指定する日までに振り込むことにより行うものとする。

(成果の報告)

第7条　利用者は、設備の利用期間の終了後、速やかに設備の利用により得られた研究成果等について、別に定める利用成果報告書(次条において「報告書」という。)により機構長に報告しなければならない。

(成果の公開)

第8条　機構長は、前条の規定により提出された報告書を速やかに公開するものとする。ただし、知的財産権(知的財産基本法(平成14年法律第122号)第2条第2項に規定する知的財産権をいう。次条において同じ。)の取得その他の理由で利用者が公開の延長を希望する場合には、報告書の提出された日から2年を超えない期間、公開を延期することができる。

2　前項に定めるもののほか、機構長は、本事業に基づく設備の利用により得られた研究成果等の内容について、前項の規定によらないで公開しようとする場合には、公開の時期、方法、内容等について、利用者と協議の上、適切に定めるものとする。

(知的財産権の帰属)

第9条　学外者である利用者が、設備の利用により得た研究成果等に係る知的財産権は、原則として当該利用者に帰属するものとする。ただし、当該研究成果等が本学の職員と共同して得られたものである場合には、当該研究成果等に係る知的財産権の帰属については、機構長と利用者が協議の上、決定するものとする。

(秘密の保持)

第10条　本学の職員は、本事業に基づく設備の利用の過程において知り得た利用者及び利用内容に関する情報のうち、第8条の規定により公開する情報以外の情報について、利用者の同意がなければ、公開又は開示してはならない。ただし、当該情報が次のいずれかに該当する場合は、この限りでない。

(1)　公知の情報

(2)　本学の職員が既に保有していた情報

(3)　本学の職員が独自に開発又は取得した情報

(4)　本学の職員が秘密として扱うことが公共の利益を著しく損なう恐れがあると認められる情報

2　機構長は、前項第4号に該当する情報を公開しようとするときには、その理由を事前に利用者に通知するものとする。

(目的外利用の禁止)

第11条　利用者は、利用の承認を受けた目的以外に設備を利用し、又は第三者に利用させてはならない。

(取消等)

第12条　機構長は、利用者がこの規程に違反し、又は本学の職員の指示に従わず、設備の利用に重大な支障を生じさせたときは、第5条第1項の許可を取り消し、又は本事業の利用を停止させることができる。

(損害賠償)

第13条　利用者は、故意又は重大な過失によりその利用に係る設備を滅失し、又は損傷したときは、その損害を賠償する責めに任ずるものとする。

(事務)

第14条　本事業に基づく設備の利用に関する事務は、研究推進部研究支援課が処理する。

(雑則)

第15条　この規程に定めるもののほか、本事業に基づく設備の利用に関し必要な事項は、機構長が別に定める。

附則

この規程は、平成25年4月1日から施行する。

附則(平成25年10月1日海大達第104号)

この規程は、平成25年10月1日から施行する。

附則(平成27年4月1日海大達第20号)

この規程は、平成27年4月1日から施行する。

附則(平成27年7月1日海大達第219号)

この規程は、平成27年7月1日から施行する。

附則(平成30年10月1日海大達第142号)

この規程は、平成30年10月1日から施行する。

附則(平成30年12月1日海大達第157号)

この規程は、平成30年12月1日から施行する。

附則(平成31年4月1日海大達第85号)

この規程は、平成31年4月1日から施行する。

附則(令和元年10月1日海大達第196号)

この規程は、令和元年10月1日から施行する。

附則(令和2年4月1日海大達第77号)

この規程は、令和2年4月1日から施行する。

附則(令和4年4月1日海大達第82号)

この規程は、令和4年4月1日から施行する。

附則(令和4年10月1日海大達第155号)

この規程は、令和4年10月1日から施行する。

附則(令和5年7月1日海大達第137号)

この規程は、令和5年7月1日から施行する。

附則(令和5年10月1日海大達第158号)

この規程は、令和5年10月1日から施行する。

附則(令和6年1月1日海大達第8号)

この規程は、令和6年1月1日から施行する。

附則(令和6年4月1日海大達第80号)

この規程は、令和6年4月1日から施行する。

附則(令和6年10月1日海大達第144号)

この規程は、令和6年10月1日から施行する。

別表第1(第5条関係)


国立研究開発法人産業技術総合研究所国立研究開発法人日本原子力研究開発機構国立研究開発法人物質・材料研究機構国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構国立大学法人東北大学国立大学法人山形大学国立大学法人筑波大学国立大学法人東京大学国立大学法人東京科学大学国立大学法人電気通信大学国立大学法人信州大学国立大学法人東海国立大学機構名古屋大学国立大学法人名古屋工業大学国立大学法人京都大学国立大学法人大阪大学国立大学法人広島大学国立大学法人香川大学国立大学法人九州大学国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学国立大学法人奈良先端科学技術大学院大学大学共同利用機関法人自然科学研究機構公立大学法人公立千歳科学技術大学学校法人早稲田大学学校法人トヨタ学園豊田工業大学

国立研究開発法人産業技術総合研究所

国立研究開発法人日本原子力研究開発機構

国立研究開発法人物質・材料研究機構

国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構

国立大学法人東北大学

国立大学法人山形大学

国立大学法人筑波大学

国立大学法人東京大学

国立大学法人東京科学大学

国立大学法人電気通信大学

国立大学法人信州大学

国立大学法人東海国立大学機構名古屋大学

国立大学法人名古屋工業大学

国立大学法人京都大学

国立大学法人大阪大学

国立大学法人広島大学

国立大学法人香川大学

国立大学法人九州大学

国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学

国立大学法人奈良先端科学技術大学院大学

大学共同利用機関法人自然科学研究機構

公立大学法人公立千歳科学技術大学

学校法人早稲田大学

学校法人トヨタ学園豊田工業大学

別表第2の1(第6条関係)


設備番号	設備	メーカー	型式	基本料 (学内者)	基本料 (学外者)	利用料 (1時間当たり) (学内者)	利用料 (1時間当たり) (学外者(大学・公的機関))	利用料 (1時間当たり) (学外者(一般))	技術補助料 (1時間当たり) (学内者)	技術補助料 (1時間当たり) (学外者(大学・公的機関))	技術補助料 (1時間当たり) (学外者(一般))	技術代行料 (1時間当たり) (学内者)	技術代行料 (1時間当たり) (学外者(大学・公的機関))	技術代行料 (1時間当たり) (学外者(一般))
AP-200001	超高精度電子ビーム描画装置　125kV	エリオニクス	ELS-F125-U	32,000円	35,200円	4,500円	7,000円	20,800円	8,500円	11,400円	25,200円	12,500円	15,800円	29,600円
AP-200002	超高精度電子ビーム描画装置　100kV	エリオニクス	ELS-7000HM	32,000円	35,200円	2,900円	5,200円	18,600円	6,900円	9,600円	23,000円	10,900円	14,000円	27,400円
AP-200003	マスクアライナー	ミカサ	MA-20	12,000円	13,200円	1,200円	1,400円	2,000円	5,200円	5,800円	6,400円	9,200円	10,200円	10,800円
AP-200004	レーザー描画装置	ネオアーク	DDB-201-200	20,000円	22,000円	500円	900円	3,000円	4,500円	5,300円	7,400円	8,500円	9,700円	11,800円
AP-200005	真空蒸着装置	サンバック	ED-1500R	20,000円	22,000円	1,200円	1,400円	2,000円	5,200円	5,800円	6,400円	9,200円	10,200円	10,800円
AP-200006	プラズマCVD装置	サムコ	PD-220ESN	20,000円	22,000円	1,200円	1,700円	4,500円	5,200円	6,100円	8,900円	9,200円	10,500円	13,300円
AP-200007	液体ソースプラズマCVD装置	サムコ	PD-10C1	20,000円	22,000円	600円	600円	800円	4,600円	5,000円	5,200円	8,600円	9,400円	9,600円
AP-200008	ヘリコンスパッタリング装置	アルバック	MPS-4000C1／HC1	12,000円	13,200円	3,000円	3,500円	4,700円	7,000円	7,900円	9,100円	11,000円	12,300円	13,500円
AP-200009	イオンビームスパッタ装置	アルバック	IBS-6000S	12,000円	13,200円	1,300円	1,500円	2,000円	5,300円	5,900円	6,400円	9,300円	10,300円	10,800円
AP-200010	原子層堆積装置	ピコサン	SUNALE-R	12,000円	13,200円	2,400円	2,900円	5,100円	6,400円	7,300円	9,500円	10,400円	11,700円	13,900円
AP-200012	反応性イオンエッチング装置	サムコ	RIE-101iPH	12,000円	13,200円	1,800円	2,200円	4,300円	5,800円	6,600円	8,700円	9,800円	11,000円	13,100円
AP-200013	反応性イオンエッチング装置	サムコ	RIE-10NRV	12,000円	13,200円	1,800円	2,200円	4,000円	5,800円	6,600円	8,400円	9,800円	11,000円	12,800円
AP-200014	ドライエッチング装置	アルバック	NLD-500	12,000円	13,200円	1,000円	1,200円	1,800円	5,000円	5,600円	6,200円	9,000円	10,000円	10,600円
AP-200015	イオンミリング装置	アルバック	IBE-6000S	12,000円	13,200円	1,000円	1,100円	1,500円	5,000円	5,500円	5,900円	9,000円	9,900円	10,300円
AP-200017	電界放射型走査型電子顕微鏡	日本電子	JSM-6700FT	20,000円	22,000円	1,000円	1,100円	1,100円	5,000円	5,500円	5,500円	9,000円	9,900円	9,900円
AP-200018	電子ビーム描画装置	エリオニクス	ELS-3700	24,000円	26,400円	800円	1,000円	1,800円	4,800円	5,400円	6,200円	8,800円	9,800円	10,600円
AP-200019	電子線描画装置	エリオニクス	ELS-7300	64,000円	70,400円	1,100円	1,700円	5,000円	5,100円	6,100円	9,400円	9,100円	10,500円	13,800円
AP-200020	両面マスクアライナ	ズースマイクロテック	MA-6	16,000円	17,600円	600円	900円	2,900円	4,600円	5,300円	7,300円	8,600円	9,700円	11,700円
AP-200021	ECR加工装置	エリオニクス	EIS-200ER	40,000円	44,000円	800円	1,000円	1,500円	4,800円	5,400円	5,900円	8,800円	9,800円	10,300円
AP-200022	ICP加工装置	エリオニクス	EIS-700S	24,000円	26,400円	900円	1,000円	1,000円	4,900円	5,400円	5,400円	8,900円	9,800円	9,800円
AP-200023	超高真空5源ヘリコンスパッタ	菅製作所	Av028	24,000円	26,400円	1,000円	1,300円	2,400円	5,000円	5,700円	6,800円	9,000円	10,100円	11,200円
AP-200024	ALD製膜装置	Cambride NanoTech	Savannah 100	24,000円	26,400円	1,200円	1,500円	2,700円	5,200円	5,900円	7,100円	9,200円	10,300円	11,500円
AP-200026	スパッタ装置	キヤノンアネルバ	SPF-210H	24,000円	26,400円	300円	300円	500円	4,300円	4,700円	4,900円	8,300円	9,100円	9,300円
AP-200027	EB加熱・抵抗加熱蒸着装置	アルバック	EBX-8C	32,000円	35,200円	1,800円	2,100円	2,400円	5,800円	6,500円	6,800円	9,800円	10,900円	11,200円
AP-200028	EB加熱・抵抗加熱蒸着装置	菅製作所	AV096-000	16,000円	17,600円	1,400円	1,700円	2,700円	5,400円	6,100円	7,100円	9,400円	10,500円	11,500円
AP-200029	FIB加工装置	エリオニクス	EIP-3300	40,000円	44,000円	1,300円	1,500円	1,900円	5,300円	5,900円	6,300円	9,300円	10,300円	10,700円
AP-200034	ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)	日本電子	JSM-6500F	32,000円	35,200円	1,800円	2,200円	4,300円	5,800円	6,600円	8,700円	9,800円	11,000円	13,100円
AP-200035	超高真空・極低温・高磁場SPM(LT-UHV-SPM)	日本電子	JAFM4500LT	24,000円	26,400円	600円	1,500円	6,900円	4,600円	5,900円	11,300円	8,600円	10,300円	15,700円
AP-200036	超高圧電子顕微鏡群	日本電子	JEM-ARM1300	64,000円	70,400円	3,100円	3,600円	5,000円	7,100円	8,000円	9,400円	11,100円	12,400円	13,800円
AP-200039	電界放射型電子顕微鏡(200kV FEG-TEM)	日本電子	JEM-2010F	64,000円	70,400円	2,200円	2,400円	2,400円	6,200円	6,800円	6,800円	10,200円	11,200円	11,200円
AP-200041	超薄膜評価装置	日立	HD-2000	16,000円	17,600円	1,800円	2,600円	7,000円	5,800円	7,000円	11,400円	9,800円	11,400円	15,800円
AP-200042	集束イオンビーム加工観察装置	日立	FB-2100	20,000円	22,000円	1,800円	2,300円	4,600円	5,800円	6,700円	9,000円	9,800円	11,100円	13,400円
AP-200043	透過電子顕微鏡(TEM)	日本電子	JEM-2010	32,000円	35,200円	1,700円	2,200円	4,300円	5,700円	6,600円	8,700円	9,700円	11,000円	13,100円
AP-200045	フィールドエミッション電子プローブマイクロアナライザ(FE-EPMA)	日本電子	JXA-8530F	32,000円	35,200円	2,600円	3,600円	8,400円	6,600円	8,000円	12,800円	10,600円	12,400円	17,200円
AP-200046	複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM)	日本電子	JIB-4601F	32,000円	35,200円	2,800円	3,400円	5,600円	6,800円	7,800円	10,000円	10,800円	12,200円	14,400円
AP-200047	複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM)EDS・EBSDオプション	日本電子	JED-2300(EDS)、IB-Z10053T3DEBS(EBSD)	0円	0円	300円	400円	800円	300円	400円	800円	300円	400円	800円
AP-200052	オージェ電子分光装置	日本電子	JAMP-9500F	32,000円	35,200円	1,400円	2,300円	7,800円	5,400円	6,700円	12,200円	9,400円	11,100円	16,600円
AP-200053	X線光電子分光装置	日本電子	JPS-9200	32,000円	35,200円	1,200円	1,800円	5,400円	5,200円	6,200円	9,800円	9,200円	10,600円	14,200円
AP-200054	スピンSEM	エイコーエンジニアリング	-	24,000円	26,400円	2,000円	2,200円	2,600円	6,000円	6,600円	7,000円	10,000円	11,000円	11,400円
AP-200055	超高真空STM・スピン偏極STM装置	オミクロン	STM／AFM、VT-STM	24,000円	26,400円	2,500円	3,000円	4,600円	6,500円	7,400円	9,000円	10,500円	11,800円	13,400円
AP-200056	時間分解光電子顕微鏡システム	エルミテック	PEEM-Ⅲ	128,000円	140,800円	2,000円	2,600円	5,500円	6,000円	7,000円	9,900円	10,000円	11,400円	14,300円
AP-200057	ナノカーボン成長炉	ナノデバイス	Easy tube system	40,000円	44,000円	400円	400円	400円	4,400円	4,800円	4,800円	8,400円	9,200円	9,200円
AP-200058	エリプソメータ	日本分光	M-500S	5,600円	6,200円	100円	200円	700円	4,100円	4,600円	5,100円	8,100円	9,000円	9,500円
AP-200059	超高速スキャン高精度電子ビーム露光装置	エリオニクス	ELS-F130HM	32,000円	35,200円	4,500円	7,900円	27,600円	8,500円	12,300円	32,000円	12,500円	16,700円	36,400円
AP-200060	半導体薄膜堆積装置	パスカル	PAC-LMBE	32,000円	35,200円	1,800円	2,400円	5,800円	5,800円	6,800円	10,200円	9,800円	11,200円	14,600円
AP-200061	高分解能3次元構造評価装置	日本FEI	Titan3 G2 60-300	64,000円	70,400円	3,700円	7,400円	29,800円	7,700円	11,800円	34,200円	11,700円	16,200円	38,600円
AP-200062	収差補正走査型透過電子顕微鏡	日本電子	JEM-ARM200F	40,000円	44,000円	3,200円	5,100円	15,900円	7,200円	9,500円	20,300円	11,200円	13,900円	24,700円
AP-200063	電子線三次元粗さ解析装置	エリオニクス	ERA-8000FE	32,000円	35,200円	1,100円	1,200円	1,300円	5,100円	5,600円	5,700円	9,100円	10,000円	10,100円
AP-200064	走査型プローブ顕微鏡	エスアイアイ・ナノテクノロジー	NanoNavi Station SPA300	32,000円	35,200円	100円	200円	400円	4,100円	4,600円	4,800円	8,100円	9,000円	9,200円
AP-200065	超高真空AFM	日本電子	JAFM-4500XT	192,000円	211,200円	1,000円	1,200円	1,600円	5,000円	5,600円	6,000円	9,000円	10,000円	10,400円
AP-200066	コンパクトスパッタ装置	アルバック	ACS-4000-C3-HS	12,000円	13,200円	2,400円	2,900円	4,700円	6,400円	7,300円	9,100円	10,400円	11,700円	13,500円
AP-200067	ICP高密度プラズマエッチング装置	サムコ	RIE-101iHS	12,000円	13,200円	1,200円	1,900円	5,700円	5,200円	6,300円	10,100円	9,200円	10,700円	14,500円
AP-200068	スパッタ装置	菅製作所	SSP3000Plus	24,000円	26,400円	500円	700円	1,500円	4,500円	5,100円	5,900円	8,500円	9,500円	10,300円
AP-200069	ダイシングソー	DISCO	DAD322	16,000円	17,600円	600円	700円	1,000円	4,600円	5,100円	5,400円	8,600円	9,500円	9,800円
AP-200070	大気中光電子分光装置	理研計器	AC-3	12,000円	13,200円	1,800円	2,200円	4,200円	5,800円	6,600円	8,600円	9,800円	11,000円	13,000円
AP-200071	超高分解能走査型電子顕微鏡	日立ハイテクノロジーズ	SU8230	24,000円	26,400円	1,800円	2,300円	4,500円	5,800円	6,700円	8,900円	9,800円	11,100円	13,300円
AP-200072	多元スパッタ装置	アルバック	QAM-4-ST	24,000円	26,400円	4,800円	5,500円	7,000円	8,800円	9,900円	11,400円	12,800円	14,300円	15,800円
AP-200073	シリコン深堀りエッチング装置	SPPテクノロジーズ	APX-ASE-Pegasus-Polestar	32,000円	35,200円	3,200円	4,300円	9,500円	7,200円	8,700円	13,900円	11,200円	13,100円	18,300円
AP-200074	電子ビーム蒸着装置	エイコーエンジニアリング	EB-580S	24,000円	26,400円	1,800円	2,100円	2,800円	5,800円	6,500円	7,200円	9,800円	10,900円	11,600円
AP-200075	レーザー顕微鏡	キーエンス	VK-9700／9710	24,000円	26,400円	600円	700円	1,400円	4,600円	5,100円	5,800円	8,600円	9,500円	10,200円
AP-200076	UV-オゾンクリーナー	サムコ	UV-1	8,000円	8,800円	600円	600円	600円	4,600円	5,000円	5,000円	8,600円	9,400円	9,400円
AP-200077	光学干渉式膜厚計	フィルメトリクス	F20-UV	24,000円	26,400円	600円	700円	900円	4,600円	5,100円	5,300円	8,600円	9,500円	9,700円
AP-200078	原子層堆積装置(粉末対応型)	ピコサン	R-200 advanced	24,000円	26,400円	3,200円	4,100円	7,400円	7,200円	8,500円	11,800円	11,200円	12,900円	16,200円
AP-200079	精密イオンミリングシステム	Gatan	PIPSⅡ model 695	32,000円	35,200円	1,200円	1,300円	1,400円	5,200円	5,700円	5,800円	9,200円	10,100円	10,200円
AP-200080	レーザー描画装置	ハイデルベルグ・インストルメンツ	DWL66HK	32,000円	35,200円	4,000円	5,000円	8,500円	8,000円	9,400円	12,900円	12,000円	13,800円	17,300円
AP-200081	集束イオンビーム加工観察装置	日本電子	JEM-9320FIB	0円	0円	1,600円	2,100円	4,800円	5,600円	6,500円	9,200円	9,600円	10,900円	13,600円
AP-200082	X線光電子分光装置	日本電子	JPS-9200	28,000円	30,800円	1,000円	1,600円	5,300円	5,000円	6,000円	9,700円	9,000円	10,400円	14,100円
AP-200083	プラズマ式原子層堆積装置	サムコ	AD-230LP-H	32,000円	35,200円	3,200円	4,400円	10,300円	7,200円	8,800円	14,700円	11,200円	13,200円	19,100円
AP-200084	卓上型ランプ加熱装置	アドバンス理工	MILA-5000-P-N	32,000円	35,200円	1,500円	1,600円	1,700円	5,500円	6,000円	6,100円	9,500円	10,400円	10,500円
AP-200085	量子・電子制御ナノマテリアル顕微物性測定装置	日本電子	JEM-ARM200F NEOARM	32,000円	35,200円	3,200円	5,200円	12,200円	7,200円	9,600円	16,600円	11,200円	14,000円	21,000円
AP-200086	ガラスインプリント装置	芝浦機械	GMP-415V	32,000円	35,200円	1,500円	2,000円	4,600円	5,500円	6,400円	9,000円	9,500円	10,800円	13,400円
AP-200087	顕微紫外可視分光装置	日本分光	MSV-5200	8,000円	8,800円	1,800円	2,100円	3,200円	5,800円	6,500円	7,600円	9,800円	10,900円	12,000円
AP-200088	微細形状測定機	小坂研究所	ET200	16,000円	17,600円	500円	600円	800円	4,500円	5,000円	5,200円	8,500円	9,400円	9,600円
AP-200089	マニュアルスパッタ	(自作)	-	16,000円	17,600円	600円	700円	1,100円	4,600円	5,100円	5,500円	8,600円	9,500円	9,900円
AP-200090	ラマンイメージング装置	堀場製作所	HR-Evolution type pa nano	24,000円	26,400円	2,500円	2,900円	4,200円	6,500円	7,300円	8,600円	10,500円	11,700円	13,000円
AP-200091	ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)	日本電子	JSM-7200F	8,000円	8,800円	2,100円	2,500円	4,100円	6,100円	6,900円	8,500円	10,100円	11,300円	12,900円
AP-200092	触針式プロファイラー(段差計)	KLA-Tencor	Alpha-Step D-500	24,000円	26,400円	300円	400円	700円	4,300円	4,800円	5,100円	8,300円	9,200円	9,500円

別表第2の2(第6条関係)


設備番号	設備	メーカー	型式	基本料 (学内者)	基本料 (学外者)	利用料 (1時間当たり) (学内者)	利用料 (1時間当たり) (学外者(大学・公的機関))	利用料 (1時間当たり) (学外者(一般))	技術補助料 (1時間当たり) (学内者)	技術補助料 (1時間当たり) (学外者(大学・公的機関))	技術補助料 (1時間当たり) (学外者(一般))	技術代行料 (1時間当たり) (学内者)	技術代行料 (1時間当たり) (学外者(大学・公的機関))	技術代行料 (1時間当たり) (学外者(一般))
AP-200001	超高精度電子ビーム描画装置　125kV	エリオニクス	ELS-F125-U	32,000円	35,200円	5,800円	9,000円	26,700円	9,800円	13,400円	31,100円	13,800円	17,800円	35,500円
AP-200002	超高精度電子ビーム描画装置　100kV	エリオニクス	ELS-7000HM	32,000円	35,200円	3,800円	6,700円	23,900円	7,800円	11,100円	28,300円	11,800円	15,500円	32,700円
AP-200003	マスクアライナー	ミカサ	MA-20	12,000円	13,200円	1,500円	1,800円	2,600円	5,500円	6,200円	7,000円	9,500円	10,600円	11,400円
AP-200004	レーザー描画装置	ネオアーク	DDB-201-200	20,000円	22,000円	600円	1,100円	3,800円	4,600円	5,500円	8,200円	8,600円	9,900円	12,600円
AP-200005	真空蒸着装置	サンバック	ED-1500R	20,000円	22,000円	1,600円	1,800円	2,500円	5,600円	6,200円	6,900円	9,600円	10,600円	11,300円
AP-200006	プラズマCVD装置	サムコ	PD-220ESN	20,000円	22,000円	1,500円	2,200円	5,700円	5,500円	6,600円	10,100円	9,500円	11,000円	14,500円
AP-200007	液体ソースプラズマCVD装置	サムコ	PD-10C1	20,000円	22,000円	700円	800円	1,000円	4,700円	5,200円	5,400円	8,700円	9,600円	9,800円
AP-200008	ヘリコンスパッタリング装置	アルバック	MPS-4000C1／HC1	12,000円	13,200円	3,800円	4,400円	6,000円	7,800円	8,800円	10,400円	11,800円	13,200円	14,800円
AP-200009	イオンビームスパッタ装置	アルバック	IBS-6000S	12,000円	13,200円	1,700円	1,900円	2,600円	5,700円	6,300円	7,000円	9,700円	10,700円	11,400円
AP-200010	原子層堆積装置	ピコサン	SUNALE-R	12,000円	13,200円	3,000円	3,700円	6,500円	7,000円	8,100円	10,900円	11,000円	12,500円	15,300円
AP-200012	反応性イオンエッチング装置	サムコ	RIE-101iPH	12,000円	13,200円	2,200円	2,900円	5,500円	6,200円	7,300円	9,900円	10,200円	11,700円	14,300円
AP-200013	反応性イオンエッチング装置	サムコ	RIE-10NRV	12,000円	13,200円	2,300円	2,800円	5,200円	6,300円	7,200円	9,600円	10,300円	11,600円	14,000円
AP-200014	ドライエッチング装置	アルバック	NLD-500	12,000円	13,200円	1,200円	1,500円	2,300円	5,200円	5,900円	6,700円	9,200円	10,300円	11,100円
AP-200015	イオンミリング装置	アルバック	IBE-6000S	12,000円	13,200円	1,200円	1,400円	1,900円	5,200円	5,800円	6,300円	9,200円	10,200円	10,700円
AP-200017	電界放射型走査型電子顕微鏡	日本電子	JSM-6700FT	20,000円	22,000円	1,200円	1,400円	1,400円	5,200円	5,800円	5,800円	9,200円	10,200円	10,200円
AP-200018	電子ビーム描画装置	エリオニクス	ELS-3700	24,000円	26,400円	1,000円	1,300円	2,300円	5,000円	5,700円	6,700円	9,000円	10,100円	11,100円
AP-200019	電子線描画装置	エリオニクス	ELS-7300	64,000円	70,400円	1,400円	2,200円	6,400円	5,400円	6,600円	10,800円	9,400円	11,000円	15,200円
AP-200020	両面マスクアライナ	ズースマイクロテック	MA-6	16,000円	17,600円	800円	1,200円	3,800円	4,800円	5,600円	8,200円	8,800円	10,000円	12,600円
AP-200021	ECR加工装置	エリオニクス	EIS-200ER	40,000円	44,000円	1,000円	1,200円	1,900円	5,000円	5,600円	6,300円	9,000円	10,000円	10,700円
AP-200022	ICP加工装置	エリオニクス	EIS-700S	24,000円	26,400円	1,200円	1,300円	1,300円	5,200円	5,700円	5,700円	9,200円	10,100円	10,100円
AP-200023	超高真空5源ヘリコンスパッタ	菅製作所	Av028	24,000円	26,400円	1,300円	1,700円	3,100円	5,300円	6,100円	7,500円	9,300円	10,500円	11,900円
AP-200024	ALD製膜装置	Cambride NanoTech	Savannah 100	24,000円	26,400円	1,500円	1,900円	3,500円	5,500円	6,300円	7,900円	9,500円	10,700円	12,300円
AP-200026	スパッタ装置	キヤノンアネルバ	SPF-210H	24,000円	26,400円	300円	400円	600円	4,300円	4,800円	5,000円	8,300円	9,200円	9,400円
AP-200027	EB加熱・抵抗加熱蒸着装置	アルバック	EBX-8C	32,000円	35,200円	2,400円	2,600円	3,100円	6,400円	7,000円	7,500円	10,400円	11,400円	11,900円
AP-200028	EB加熱・抵抗加熱蒸着装置	菅製作所	AV096-000	16,000円	17,600円	1,800円	2,100円	3,500円	5,800円	6,500円	7,900円	9,800円	10,900円	12,300円
AP-200029	FIB加工装置	エリオニクス	EIP-3300	40,000円	44,000円	1,700円	1,900円	2,500円	5,700円	6,300円	6,900円	9,700円	10,700円	11,300円
AP-200034	ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)	日本電子	JSM-6500F	32,000円	35,200円	2,200円	2,900円	5,500円	6,200円	7,300円	9,900円	10,200円	11,700円	14,300円
AP-200035	超高真空・極低温・高磁場SPM(LT-UHV-SPM)	日本電子	JAFM4500LT	24,000円	26,400円	800円	1,900円	8,800円	4,800円	6,300円	13,200円	8,800円	10,700円	17,600円
AP-200036	超高圧電子顕微鏡群	日本電子	JEM-ARM1300	64,000円	70,400円	4,000円	4,600円	6,400円	8,000円	9,000円	10,800円	12,000円	13,400円	15,200円
AP-200039	電界放射型電子顕微鏡(200kV FEG-TEM)	日本電子	JEM-2010F	64,000円	70,400円	2,800円	3,100円	3,100円	6,800円	7,500円	7,500円	10,800円	11,900円	11,900円
AP-200041	超薄膜評価装置	日立	HD-2000	16,000円	17,600円	2,300円	3,300円	9,000円	6,300円	7,700円	13,400円	10,300円	12,100円	17,800円
AP-200042	集束イオンビーム加工観察装置	日立	FB-2100	20,000円	22,000円	2,300円	2,900円	6,000円	6,300円	7,300円	10,400円	10,300円	11,700円	14,800円
AP-200043	透過電子顕微鏡(TEM)	日本電子	JEM-2010	32,000円	35,200円	2,100円	2,800円	5,600円	6,100円	7,200円	10,000円	10,100円	11,600円	14,400円
AP-200045	フィールドエミッション電子プローブマイクロアナライザ(FE-EPMA)	日本電子	JXA-8530F	32,000円	35,200円	3,300円	4,600円	10,800円	7,300円	9,000円	15,200円	11,300円	13,400円	19,600円
AP-200046	複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM)	日本電子	JIB-4601F	32,000円	35,200円	3,600円	4,300円	7,100円	7,600円	8,700円	11,500円	11,600円	13,100円	15,900円
AP-200047	複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM)EDS・EBSDオプション	日本電子	JED-2300(EDS)、IB-Z10053T3DEBS(EBSD)	0円	0円	400円	500円	1,000円	400円	500円	1,000円	400円	500円	1,000円
AP-200052	オージェ電子分光装置	日本電子	JAMP-9500F	32,000円	35,200円	1,800円	3,000円	10,000円	5,800円	7,400円	14,400円	9,800円	11,800円	18,800円
AP-200053	X線光電子分光装置	日本電子	JPS-9200	32,000円	35,200円	1,500円	2,300円	6,900円	5,500円	6,700円	11,300円	9,500円	11,100円	15,700円
AP-200054	スピンSEM	エイコーエンジニアリング	-	24,000円	26,400円	2,500円	2,800円	3,300円	6,500円	7,200円	7,700円	10,500円	11,600円	12,100円
AP-200055	超高真空STM・スピン偏極STM装置	オミクロン	STM／AFM、VT-STM	24,000円	26,400円	3,300円	3,900円	5,900円	7,300円	8,300円	10,300円	11,300円	12,700円	14,700円
AP-200056	時間分解光電子顕微鏡システム	エルミテック	PEEM-Ⅲ	128,000円	140,800円	2,600円	3,400円	7,100円	6,600円	7,800円	11,500円	10,600円	12,200円	15,900円
AP-200057	ナノカーボン成長炉	ナノデバイス	Easy tube system	40,000円	44,000円	500円	500円	500円	4,500円	4,900円	4,900円	8,500円	9,300円	9,300円
AP-200058	エリプソメータ	日本分光	M-500S	5,600円	6,200円	100円	200円	900円	4,100円	4,600円	5,300円	8,100円	9,000円	9,700円
AP-200059	超高速スキャン高精度電子ビーム露光装置	エリオニクス	ELS-F130HM	32,000円	35,200円	5,800円	10,100円	35,500円	9,800円	14,500円	39,900円	13,800円	18,900円	44,300円
AP-200060	半導体薄膜堆積装置	パスカル	PAC-LMBE	32,000円	35,200円	2,200円	3,100円	7,400円	6,200円	7,500円	11,800円	10,200円	11,900円	16,200円
AP-200061	高分解能3次元構造評価装置	日本FEI	Titan3 G2 60-300	64,000円	70,400円	4,700円	9,500円	38,300円	8,700円	13,900円	42,700円	12,700円	18,300円	47,100円
AP-200062	収差補正走査型透過電子顕微鏡	日本電子	JEM-ARM200F	40,000円	44,000円	4,000円	6,500円	20,500円	8,000円	10,900円	24,900円	12,000円	15,300円	29,300円
AP-200063	電子線三次元粗さ解析装置	エリオニクス	ERA-8000FE	32,000円	35,200円	1,400円	1,500円	1,600円	5,400円	5,900円	6,000円	9,400円	10,300円	10,400円
AP-200064	走査型プローブ顕微鏡	エスアイアイ・ナノテクノロジー	NanoNavi Station SPA300	32,000円	35,200円	200円	200円	400円	4,200円	4,600円	4,800円	8,200円	9,000円	9,200円
AP-200065	超高真空AFM	日本電子	JAFM-4500XT	192,000円	211,200円	1,300円	1,500円	2,000円	5,300円	5,900円	6,400円	9,300円	10,300円	10,800円
AP-200066	コンパクトスパッタ装置	アルバック	ACS-4000-C3-HS	12,000円	13,200円	3,100円	3,800円	6,100円	7,100円	8,200円	10,500円	11,100円	12,600円	14,900円
AP-200067	ICP高密度プラズマエッチング装置	サムコ	RIE-101iHS	12,000円	13,200円	1,500円	2,400円	7,300円	5,500円	6,800円	11,700円	9,500円	11,200円	16,100円
AP-200068	スパッタ装置	菅製作所	SSP3000Plus	24,000円	26,400円	600円	800円	2,000円	4,600円	5,200円	6,400円	8,600円	9,600円	10,800円
AP-200069	ダイシングソー	DISCO	DAD322	16,000円	17,600円	700円	800円	1,300円	4,700円	5,200円	5,700円	8,700円	9,600円	10,100円
AP-200070	大気中光電子分光装置	理研計器	AC-3	12,000円	13,200円	2,300円	2,900円	5,400円	6,300円	7,300円	9,800円	10,300円	11,700円	14,200円
AP-200071	超高分解能走査型電子顕微鏡	日立ハイテクノロジーズ	SU8230	24,000円	26,400円	2,300円	2,900円	5,800円	6,300円	7,300円	10,200円	10,300円	11,700円	14,600円
AP-200072	多元スパッタ装置	アルバック	QAM-4-ST	24,000円	26,400円	6,200円	7,100円	9,000円	10,200円	11,500円	13,400円	14,200円	15,900円	17,800円
AP-200073	シリコン深堀りエッチング装置	SPPテクノロジーズ	APX-ASE-Pegasus-Polestar	32,000円	35,200円	4,100円	5,500円	12,200円	8,100円	9,900円	16,600円	12,100円	14,300円	21,000円
AP-200074	電子ビーム蒸着装置	エイコーエンジニアリング	EB-580S	24,000円	26,400円	2,300円	2,600円	3,600円	6,300円	7,000円	8,000円	10,300円	11,400円	12,400円
AP-200075	レーザー顕微鏡	キーエンス	VK-9700／9710	24,000円	26,400円	700円	900円	1,800円	4,700円	5,300円	6,200円	8,700円	9,700円	10,600円
AP-200076	UV-オゾンクリーナー	サムコ	UV-1	8,000円	8,800円	700円	800円	800円	4,700円	5,200円	5,200円	8,700円	9,600円	9,600円
AP-200077	光学干渉式膜厚計	フィルメトリクス	F20-UV	24,000円	26,400円	700円	800円	1,100円	4,700円	5,200円	5,500円	8,700円	9,600円	9,900円
AP-200078	原子層堆積装置(粉末対応型)	ピコサン	R-200 advanced	24,000円	26,400円	4,100円	5,200円	9,500円	8,100円	9,600円	13,900円	12,100円	14,000円	18,300円
AP-200079	精密イオンミリングシステム	Gatan	PIPSⅡ model 695	32,000円	35,200円	1,500円	1,700円	1,800円	5,500円	6,100円	6,200円	9,500円	10,500円	10,600円
AP-200080	レーザー描画装置	ハイデルベルグ・インストルメンツ	DWL66HK	32,000円	35,200円	5,200円	6,400円	10,900円	9,200円	10,800円	15,300円	13,200円	15,200円	19,700円
AP-200081	集束イオンビーム加工観察装置	日本電子	JEM-9320FIB	0円	0円	2,000円	2,700円	6,200円	6,000円	7,100円	10,600円	10,000円	11,500円	15,000円
AP-200082	X線光電子分光装置	日本電子	JPS-9200	28,000円	30,800円	1,200円	2,100円	6,800円	5,200円	6,500円	11,200円	9,200円	10,900円	15,600円
AP-200083	プラズマ式原子層堆積装置	サムコ	AD-230LP-H	32,000円	35,200円	4,100円	5,700円	13,200円	8,100円	10,100円	17,600円	12,100円	14,500円	22,000円
AP-200084	卓上型ランプ加熱装置	アドバンス理工	MILA-5000-P-N	32,000円	35,200円	1,900円	2,100円	2,100円	5,900円	6,500円	6,500円	9,900円	10,900円	10,900円
AP-200085	量子・電子制御ナノマテリアル顕微物性測定装置	日本電子	JEM-ARM200F NEOARM	32,000円	35,200円	4,100円	6,700円	15,600円	8,100円	11,100円	20,000円	12,100円	15,500円	24,400円
AP-200086	ガラスインプリント装置	芝浦機械	GMP-415V	32,000円	35,200円	1,900円	2,600円	5,900円	5,900円	7,000円	10,300円	9,900円	11,400円	14,700円
AP-200087	顕微紫外可視分光装置	日本分光	MSV-5200	8,000円	8,800円	2,200円	2,700円	4,100円	6,200円	7,100円	8,500円	10,200円	11,500円	12,900円
AP-200088	微細形状測定機	小坂研究所	ET200	16,000円	17,600円	600円	800円	1,100円	4,600円	5,200円	5,500円	8,600円	9,600円	9,900円
AP-200089	マニュアルスパッタ	(自作)	-	16,000円	17,600円	700円	900円	1,400円	4,700円	5,300円	5,800円	8,700円	9,700円	10,200円
AP-200090	ラマンイメージング装置	堀場製作所	HR-Evolution type pa nano	24,000円	26,400円	3,200円	3,700円	5,400円	7,200円	8,100円	9,800円	11,200円	12,500円	14,200円
AP-200091	ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)	日本電子	JSM-7200F	8,000円	8,800円	2,600円	3,200円	5,200円	6,600円	7,600円	9,600円	10,600円	12,000円	14,000円
AP-200092	触針式プロファイラー(段差計)	KLA-Tencor	Alpha-Step D-500	24,000円	26,400円	400円	500円	900円	4,400円	4,900円	5,300円	8,400円	9,300円	9,700円

◆	平成25年4月1日	海大達第53号
◇	平成25年10月1日	海大達第104号
◇	平成27年4月1日	海大達第20号
◇	平成27年7月1日	海大達第219号
◇	平成30年10月1日	海大達第142号
◇	平成30年12月1日	海大達第157号
◇	平成31年4月1日	海大達第85号
◇	令和元年10月1日	海大達第196号
◇	令和2年4月1日	海大達第77号
◇	令和4年4月1日	海大達第82号
◇	令和4年10月1日	海大達第155号
◇	令和5年7月1日	海大達第137号
◇	令和5年10月1日	海大達第158号
◇	令和6年1月1日	海大達第8号
◇	令和6年4月1日	海大達第80号
◇	令和6年10月1日	海大達第144号