○国立大学法人北海道大学マテリアル先端リサーチインフラ事業による設備利用規程

平成25年4月1日

海大達第53号

(趣旨)

第1条 この規程は、文部科学省の委託を受けて国立大学法人北海道大学(以下「本学」という。)が行うマテリアル先端リサーチインフラ事業(以下「本事業」という。)に基づく設備の利用に関し、必要な事項を定めるものとする。

(目的)

第2条 本事業は、マテリアル(物質、材料及びデバイスをいう。以下この条において同じ。)に関する最先端の研究設備及びその活用技術を有する本学が、産学官の研究者に設備の幅広い利用の機会を提供することにより、マテリアルに関する産学官連携及び異分野融合につながる研究を推進することを目的とする。

(利用対象者)

第3条 本事業に基づき設備を利用することができるのは、次の各号のいずれかに該当する者(次条において「利用対象者」という。)とする。

(1) 本学の職員

(2) 本学の学部学生、大学院学生、聴講生、科目等履修生その他の本学において修学をしている者

(3) 本学の研究生、受託研究員その他の本学において研究に従事している者

(4) 学術研究のために設備を利用する本学以外の大学又は公的機関に所属する者

(5) 研究開発等のために設備を利用する民間企業その他の法人に所属する者

(6) その他国立大学法人北海道大学創成研究機構長(以下「機構長」という。)が適当と認めた者

(利用形態)

第4条 本事業における設備の利用形態は、次に掲げるとおりとする。

(1) 設備利用 利用対象者が本学において自ら設備の操作等を行う。

(2) 技術補助 利用対象者が本学において本事業の実施に係る支援業務に携わる職員(以下この条において「支援員」という。)の立会いの下、支援員の技術的な補助を受けつつ、自ら設備の操作等を行う。

(3) 技術代行 利用対象者からの委託に基づき、支援員が設備を操作して各種加工及び解析を行う。

(4) 技術支援 前3号に掲げる利用形態による利用に先立ち、支援員が試料の調整又は最適化の作業を行う。

(5) 技術相談 利用対象者からの相談に対し、支援員が技術的な助言等を行う。

(申請及び許可)

第5条 本事業に基づく設備の利用を申請しようとする者(次項において「申請者」という。)は、別に定める申請書を機構長に提出し、その許可を受けなければならない。

2 申請者は、設備利用により得られたデータを本学が別表第1に掲げる本事業の関係機関に提供し、並びに本学及び同機関が利用することに同意するか否かを前項の申請書に記入するものとする。

3 機構長は、第1項の規定による申請があったときは、国立大学法人北海道大学創成研究機構規程(平成21年海大達第24号)第16条の4に規定するナノテクノロジー連携研究推進室(次項において「推進室」という。)に当該申請に係る審査を付託するものとする。

4 推進室は、機構長からの審査の付託があったときは、当該申請の内容が適当であるかについて審査を行い、その結果について機構長に報告するものとする。

5 機構長は、前項の規定による報告に基づき、第1項の規定による申請について承認するか否かの決定を行い、申請書を提出した者に速やかに通知するものとする。

(利用料等)

第6条 利用申請が承認された者(以下「利用者」という。)は、設備の利用形態及び第5条第2項の規定による同意をする場合にあっては別表第2の1の第1欄から第4欄までに掲げる区分、同項の規定による同意をしない場合にあっては別表第2の2の第1欄から第4欄までに掲げる区分に応じて、基本料及び設備利用に要する費用の一部(以下「利用料」という。)、技術補助に要する費用の一部(以下「技術補助料」という。)又は技術代行に要する費用の一部(以下「技術代行料」という。)を納付するものとし、その額は、次の各号の区分に応じ当該各号に定める額とする。

(1) 基本料及び利用料

 第3条第1号から第3号までに掲げる者(以下「学内者」という。) 別表第2の1又は別表第2の2の第5欄に掲げる基本料の額とこれらの表の第7欄に掲げる利用料の額に利用する時間数を乗じて得た額とを合算した額

 第3条第4号掲げる者(以下「学外者(大学・公的機関)」という。) 別表第2の1又は別表第2の2の第6欄に掲げる基本料の額とこれらの表の第8欄に掲げる利用料の額に利用する時間数を乗じて得た額とを合算した額

 第3条第5号及び第6号に掲げる者(以下「学外者(一般)」という。) 別表第2の1又は別表第2の2の第6欄に掲げる基本料の額とこれらの表の第9欄に掲げる利用料の額に利用する時間数を乗じて得た額とを合算した額

(2) 技術補助料

 学内者 別表第2の1又は別表第2の2の第10欄に掲げる技術補助料の額に利用する時間数を乗じて得た額

 学外者(大学・公的機関) 別表第2の1又は別表第2の2の第11欄に掲げる技術補助料の額に利用する時間数を乗じて得た額

 学外者(一般) 別表第2の1又は別表第2の2の第12欄に掲げる技術補助料の額に利用する時間数を乗じて得た額

(3) 技術代行料

 学内者 別表第2の1又は別表第2の2の第13欄に掲げる技術代行料の額に利用する時間数を乗じて得た額

 学外者(大学・公的機関) 別表第2の1又は別表第2の2の第14欄に掲げる技術代行料の額に利用する時間数を乗じて得た額

 学外者(一般) 別表第2の1又は別表第2の2の第15欄に掲げる技術代行料の額に利用する時間数を乗じて得た額

2 利用者が、技術支援を受けたときは、技術支援料を納付するものとし、その額は、次の各号の区分に応じ当該各号に定める額に技術支援を受けた時間数を乗じて得た額とする。ただし、当該技術支援が高度な知識及び経験を必要とする作業、複数の技術を組み合わせる作業その他難易度の高い作業を伴う場合における技術支援料は、この項本文の規定により算出された額に2を乗じて得た額とする。

(1) 学内者 4,000円

(2) 学外者(第3条第4号から第6号までに掲げる者をいう。以下同じ。) 4,400円

3 利用者が、技術相談を行ったときは、技術相談料を納付するものとし、その額は、次の各号の区分に応じ当該各号に定める額に相談を行った時間数を乗じて得た額とする。

(1) 学内者 10,000円

(2) 学外者 11,000円

4 前3項の規定にかかわらず、機構長が特に認めるときは、前3項に規定する料金の全部又は一部を免除することができる。

5 基本料、利用料、技術補助料、技術代行料、技術支援料及び技術相談料の納付は、学内者にあっては経費の振替により、学外者にあっては本学が指定する預金口座へ本学が指定する日までに振り込むことにより行うものとする。

(成果の報告)

第7条 利用者は、設備の利用期間の終了後、速やかに設備の利用により得られた研究成果等について、別に定める利用成果報告書(次条において「報告書」という。)により機構長に報告しなければならない。

(成果の公開)

第8条 機構長は、前条の規定により提出された報告書を速やかに公開するものとする。ただし、知的財産権(知的財産基本法(平成14年法律第122号)第2条第2項に規定する知的財産権をいう。次条において同じ。)の取得その他の理由で利用者が公開の延長を希望する場合には、報告書の提出された日から2年を超えない期間、公開を延期することができる。

2 前項に定めるもののほか、機構長は、本事業に基づく設備の利用により得られた研究成果等の内容について、前項の規定によらないで公開しようとする場合には、公開の時期、方法、内容等について、利用者と協議の上、適切に定めるものとする。

(知的財産権の帰属)

第9条 学外者である利用者が、設備の利用により得た研究成果等に係る知的財産権は、原則として当該利用者に帰属するものとする。ただし、当該研究成果等が本学の職員と共同して得られたものである場合には、当該研究成果等に係る知的財産権の帰属については、機構長と利用者が協議の上、決定するものとする。

(秘密の保持)

第10条 本学の職員は、本事業に基づく設備の利用の過程において知り得た利用者及び利用内容に関する情報のうち、第8条の規定により公開する情報以外の情報について、利用者の同意がなければ、公開又は開示してはならない。ただし、当該情報が次のいずれかに該当する場合は、この限りでない。

(1) 公知の情報

(2) 本学の職員が既に保有していた情報

(3) 本学の職員が独自に開発又は取得した情報

(4) 本学の職員が秘密として扱うことが公共の利益を著しく損なう恐れがあると認められる情報

2 機構長は、前項第4号に該当する情報を公開しようとするときには、その理由を事前に利用者に通知するものとする。

(目的外利用の禁止)

第11条 利用者は、利用の承認を受けた目的以外に設備を利用し、又は第三者に利用させてはならない。

(取消等)

第12条 機構長は、利用者がこの規程に違反し、又は本学の職員の指示に従わず、設備の利用に重大な支障を生じさせたときは、第5条第1項の許可を取り消し、又は本事業の利用を停止させることができる。

(損害賠償)

第13条 利用者は、故意又は重大な過失によりその利用に係る設備を滅失し、又は損傷したときは、その損害を賠償する責めに任ずるものとする。

(事務)

第14条 本事業に基づく設備の利用に関する事務は、研究推進部研究支援課が処理する。

(雑則)

第15条 この規程に定めるもののほか、本事業に基づく設備の利用に関し必要な事項は、機構長が別に定める。

この規程は、平成25年4月1日から施行する。

(平成25年10月1日海大達第104号)

この規程は、平成25年10月1日から施行する。

(平成27年4月1日海大達第20号)

この規程は、平成27年4月1日から施行する。

(平成27年7月1日海大達第219号)

この規程は、平成27年7月1日から施行する。

(平成30年10月1日海大達第142号)

この規程は、平成30年10月1日から施行する。

(平成30年12月1日海大達第157号)

この規程は、平成30年12月1日から施行する。

(平成31年4月1日海大達第85号)

この規程は、平成31年4月1日から施行する。

(令和元年10月1日海大達第196号)

この規程は、令和元年10月1日から施行する。

(令和2年4月1日海大達第77号)

この規程は、令和2年4月1日から施行する。

(令和4年4月1日海大達第82号)

この規程は、令和4年4月1日から施行する。

(令和4年10月1日海大達第155号)

この規程は、令和4年10月1日から施行する。

(令和5年7月1日海大達第137号)

この規程は、令和5年7月1日から施行する。

(令和5年10月1日海大達第158号)

この規程は、令和5年10月1日から施行する。

(令和6年1月1日海大達第8号)

この規程は、令和6年1月1日から施行する。

(令和6年4月1日海大達第80号)

この規程は、令和6年4月1日から施行する。

(令和6年10月1日海大達第144号)

この規程は、令和6年10月1日から施行する。

別表第1(第5条関係)

国立研究開発法人産業技術総合研究所

国立研究開発法人日本原子力研究開発機構

国立研究開発法人物質・材料研究機構

国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構

国立大学法人東北大学

国立大学法人山形大学

国立大学法人筑波大学

国立大学法人東京大学

国立大学法人東京科学大学

国立大学法人電気通信大学

国立大学法人信州大学

国立大学法人東海国立大学機構名古屋大学

国立大学法人名古屋工業大学

国立大学法人京都大学

国立大学法人大阪大学

国立大学法人広島大学

国立大学法人香川大学

国立大学法人九州大学

国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学

国立大学法人奈良先端科学技術大学院大学

大学共同利用機関法人自然科学研究機構

公立大学法人公立千歳科学技術大学

学校法人早稲田大学

学校法人トヨタ学園豊田工業大学

別表第2の1(第6条関係)

設備番号

設備

メーカー

型式

基本料

(学内者)

基本料

(学外者)

利用料

(1時間当たり)

(学内者)

利用料

(1時間当たり)

(学外者(大学・公的機関))

利用料

(1時間当たり)

(学外者(一般))

技術補助料

(1時間当たり)

(学内者)

技術補助料

(1時間当たり)

(学外者(大学・公的機関))

技術補助料

(1時間当たり)

(学外者(一般))

技術代行料

(1時間当たり)

(学内者)

技術代行料

(1時間当たり)

(学外者(大学・公的機関))

技術代行料

(1時間当たり)

(学外者(一般))

AP-200001

超高精度電子ビーム描画装置 125kV

エリオニクス

ELS-F125-U

32,000円

35,200円

4,500円

7,000円

20,800円

8,500円

11,400円

25,200円

12,500円

15,800円

29,600円

AP-200002

超高精度電子ビーム描画装置 100kV

エリオニクス

ELS-7000HM

32,000円

35,200円

2,900円

5,200円

18,600円

6,900円

9,600円

23,000円

10,900円

14,000円

27,400円

AP-200003

マスクアライナー

ミカサ

MA-20

12,000円

13,200円

1,200円

1,400円

2,000円

5,200円

5,800円

6,400円

9,200円

10,200円

10,800円

AP-200004

レーザー描画装置

ネオアーク

DDB-201-200

20,000円

22,000円

500円

900円

3,000円

4,500円

5,300円

7,400円

8,500円

9,700円

11,800円

AP-200005

真空蒸着装置

サンバック

ED-1500R

20,000円

22,000円

1,200円

1,400円

2,000円

5,200円

5,800円

6,400円

9,200円

10,200円

10,800円

AP-200006

プラズマCVD装置

サムコ

PD-220ESN

20,000円

22,000円

1,200円

1,700円

4,500円

5,200円

6,100円

8,900円

9,200円

10,500円

13,300円

AP-200007

液体ソースプラズマCVD装置

サムコ

PD-10C1

20,000円

22,000円

600円

600円

800円

4,600円

5,000円

5,200円

8,600円

9,400円

9,600円

AP-200008

ヘリコンスパッタリング装置

アルバック

MPS-4000C1/HC1

12,000円

13,200円

3,000円

3,500円

4,700円

7,000円

7,900円

9,100円

11,000円

12,300円

13,500円

AP-200009

イオンビームスパッタ装置

アルバック

IBS-6000S

12,000円

13,200円

1,300円

1,500円

2,000円

5,300円

5,900円

6,400円

9,300円

10,300円

10,800円

AP-200010

原子層堆積装置

ピコサン

SUNALE-R

12,000円

13,200円

2,400円

2,900円

5,100円

6,400円

7,300円

9,500円

10,400円

11,700円

13,900円

AP-200012

反応性イオンエッチング装置

サムコ

RIE-101iPH

12,000円

13,200円

1,800円

2,200円

4,300円

5,800円

6,600円

8,700円

9,800円

11,000円

13,100円

AP-200013

反応性イオンエッチング装置

サムコ

RIE-10NRV

12,000円

13,200円

1,800円

2,200円

4,000円

5,800円

6,600円

8,400円

9,800円

11,000円

12,800円

AP-200014

ドライエッチング装置

アルバック

NLD-500

12,000円

13,200円

1,000円

1,200円

1,800円

5,000円

5,600円

6,200円

9,000円

10,000円

10,600円

AP-200015

イオンミリング装置

アルバック

IBE-6000S

12,000円

13,200円

1,000円

1,100円

1,500円

5,000円

5,500円

5,900円

9,000円

9,900円

10,300円

AP-200017

電界放射型走査型電子顕微鏡

日本電子

JSM-6700FT

20,000円

22,000円

1,000円

1,100円

1,100円

5,000円

5,500円

5,500円

9,000円

9,900円

9,900円

AP-200018

電子ビーム描画装置

エリオニクス

ELS-3700

24,000円

26,400円

800円

1,000円

1,800円

4,800円

5,400円

6,200円

8,800円

9,800円

10,600円

AP-200019

電子線描画装置

エリオニクス

ELS-7300

64,000円

70,400円

1,100円

1,700円

5,000円

5,100円

6,100円

9,400円

9,100円

10,500円

13,800円

AP-200020

両面マスクアライナ

ズースマイクロテック

MA-6

16,000円

17,600円

600円

900円

2,900円

4,600円

5,300円

7,300円

8,600円

9,700円

11,700円

AP-200021

ECR加工装置

エリオニクス

EIS-200ER

40,000円

44,000円

800円

1,000円

1,500円

4,800円

5,400円

5,900円

8,800円

9,800円

10,300円

AP-200022

ICP加工装置

エリオニクス

EIS-700S

24,000円

26,400円

900円

1,000円

1,000円

4,900円

5,400円

5,400円

8,900円

9,800円

9,800円

AP-200023

超高真空5源ヘリコンスパッタ

菅製作所

Av028

24,000円

26,400円

1,000円

1,300円

2,400円

5,000円

5,700円

6,800円

9,000円

10,100円

11,200円

AP-200024

ALD製膜装置

Cambride NanoTech

Savannah 100

24,000円

26,400円

1,200円

1,500円

2,700円

5,200円

5,900円

7,100円

9,200円

10,300円

11,500円

AP-200026

スパッタ装置

キヤノンアネルバ

SPF-210H

24,000円

26,400円

300円

300円

500円

4,300円

4,700円

4,900円

8,300円

9,100円

9,300円

AP-200027

EB加熱・抵抗加熱蒸着装置

アルバック

EBX-8C

32,000円

35,200円

1,800円

2,100円

2,400円

5,800円

6,500円

6,800円

9,800円

10,900円

11,200円

AP-200028

EB加熱・抵抗加熱蒸着装置

菅製作所

AV096-000

16,000円

17,600円

1,400円

1,700円

2,700円

5,400円

6,100円

7,100円

9,400円

10,500円

11,500円

AP-200029

FIB加工装置

エリオニクス

EIP-3300

40,000円

44,000円

1,300円

1,500円

1,900円

5,300円

5,900円

6,300円

9,300円

10,300円

10,700円

AP-200034

ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)

日本電子

JSM-6500F

32,000円

35,200円

1,800円

2,200円

4,300円

5,800円

6,600円

8,700円

9,800円

11,000円

13,100円

AP-200035

超高真空・極低温・高磁場SPM(LT-UHV-SPM)

日本電子

JAFM4500LT

24,000円

26,400円

600円

1,500円

6,900円

4,600円

5,900円

11,300円

8,600円

10,300円

15,700円

AP-200036

超高圧電子顕微鏡群

日本電子

JEM-ARM1300

64,000円

70,400円

3,100円

3,600円

5,000円

7,100円

8,000円

9,400円

11,100円

12,400円

13,800円

AP-200039

電界放射型電子顕微鏡(200kV FEG-TEM)

日本電子

JEM-2010F

64,000円

70,400円

2,200円

2,400円

2,400円

6,200円

6,800円

6,800円

10,200円

11,200円

11,200円

AP-200041

超薄膜評価装置

日立

HD-2000

16,000円

17,600円

1,800円

2,600円

7,000円

5,800円

7,000円

11,400円

9,800円

11,400円

15,800円

AP-200042

集束イオンビーム加工観察装置

日立

FB-2100

20,000円

22,000円

1,800円

2,300円

4,600円

5,800円

6,700円

9,000円

9,800円

11,100円

13,400円

AP-200043

透過電子顕微鏡(TEM)

日本電子

JEM-2010

32,000円

35,200円

1,700円

2,200円

4,300円

5,700円

6,600円

8,700円

9,700円

11,000円

13,100円

AP-200045

フィールドエミッション電子プローブマイクロアナライザ(FE-EPMA)

日本電子

JXA-8530F

32,000円

35,200円

2,600円

3,600円

8,400円

6,600円

8,000円

12,800円

10,600円

12,400円

17,200円

AP-200046

複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM)

日本電子

JIB-4601F

32,000円

35,200円

2,800円

3,400円

5,600円

6,800円

7,800円

10,000円

10,800円

12,200円

14,400円

AP-200047

複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM)EDS・EBSDオプション

日本電子

JED-2300(EDS)、IB-Z10053T3DEBS(EBSD)

0円

0円

300円

400円

800円

300円

400円

800円

300円

400円

800円

AP-200052

オージェ電子分光装置

日本電子

JAMP-9500F

32,000円

35,200円

1,400円

2,300円

7,800円

5,400円

6,700円

12,200円

9,400円

11,100円

16,600円

AP-200053

X線光電子分光装置

日本電子

JPS-9200

32,000円

35,200円

1,200円

1,800円

5,400円

5,200円

6,200円

9,800円

9,200円

10,600円

14,200円

AP-200054

スピンSEM

エイコーエンジニアリング

-

24,000円

26,400円

2,000円

2,200円

2,600円

6,000円

6,600円

7,000円

10,000円

11,000円

11,400円

AP-200055

超高真空STM・スピン偏極STM装置

オミクロン

STM/AFM、VT-STM

24,000円

26,400円

2,500円

3,000円

4,600円

6,500円

7,400円

9,000円

10,500円

11,800円

13,400円

AP-200056

時間分解光電子顕微鏡システム

エルミテック

PEEM-Ⅲ

128,000円

140,800円

2,000円

2,600円

5,500円

6,000円

7,000円

9,900円

10,000円

11,400円

14,300円

AP-200057

ナノカーボン成長炉

ナノデバイス

Easy tube system

40,000円

44,000円

400円

400円

400円

4,400円

4,800円

4,800円

8,400円

9,200円

9,200円

AP-200058

エリプソメータ

日本分光

M-500S

5,600円

6,200円

100円

200円

700円

4,100円

4,600円

5,100円

8,100円

9,000円

9,500円

AP-200059

超高速スキャン高精度電子ビーム露光装置

エリオニクス

ELS-F130HM

32,000円

35,200円

4,500円

7,900円

27,600円

8,500円

12,300円

32,000円

12,500円

16,700円

36,400円

AP-200060

半導体薄膜堆積装置

パスカル

PAC-LMBE

32,000円

35,200円

1,800円

2,400円

5,800円

5,800円

6,800円

10,200円

9,800円

11,200円

14,600円

AP-200061

高分解能3次元構造評価装置

日本FEI

Titan3 G2 60-300

64,000円

70,400円

3,700円

7,400円

29,800円

7,700円

11,800円

34,200円

11,700円

16,200円

38,600円

AP-200062

収差補正走査型透過電子顕微鏡

日本電子

JEM-ARM200F

40,000円

44,000円

3,200円

5,100円

15,900円

7,200円

9,500円

20,300円

11,200円

13,900円

24,700円

AP-200063

電子線三次元粗さ解析装置

エリオニクス

ERA-8000FE

32,000円

35,200円

1,100円

1,200円

1,300円

5,100円

5,600円

5,700円

9,100円

10,000円

10,100円

AP-200064

走査型プローブ顕微鏡

エスアイアイ・ナノテクノロジー

NanoNavi Station SPA300

32,000円

35,200円

100円

200円

400円

4,100円

4,600円

4,800円

8,100円

9,000円

9,200円

AP-200065

超高真空AFM

日本電子

JAFM-4500XT

192,000円

211,200円

1,000円

1,200円

1,600円

5,000円

5,600円

6,000円

9,000円

10,000円

10,400円

AP-200066

コンパクトスパッタ装置

アルバック

ACS-4000-C3-HS

12,000円

13,200円

2,400円

2,900円

4,700円

6,400円

7,300円

9,100円

10,400円

11,700円

13,500円

AP-200067

ICP高密度プラズマエッチング装置

サムコ

RIE-101iHS

12,000円

13,200円

1,200円

1,900円

5,700円

5,200円

6,300円

10,100円

9,200円

10,700円

14,500円

AP-200068

スパッタ装置

菅製作所

SSP3000Plus

24,000円

26,400円

500円

700円

1,500円

4,500円

5,100円

5,900円

8,500円

9,500円

10,300円

AP-200069

ダイシングソー

DISCO

DAD322

16,000円

17,600円

600円

700円

1,000円

4,600円

5,100円

5,400円

8,600円

9,500円

9,800円

AP-200070

大気中光電子分光装置

理研計器

AC-3

12,000円

13,200円

1,800円

2,200円

4,200円

5,800円

6,600円

8,600円

9,800円

11,000円

13,000円

AP-200071

超高分解能走査型電子顕微鏡

日立ハイテクノロジーズ

SU8230

24,000円

26,400円

1,800円

2,300円

4,500円

5,800円

6,700円

8,900円

9,800円

11,100円

13,300円

AP-200072

多元スパッタ装置

アルバック

QAM-4-ST

24,000円

26,400円

4,800円

5,500円

7,000円

8,800円

9,900円

11,400円

12,800円

14,300円

15,800円

AP-200073

シリコン深堀りエッチング装置

SPPテクノロジーズ

APX-ASE-Pegasus-Polestar

32,000円

35,200円

3,200円

4,300円

9,500円

7,200円

8,700円

13,900円

11,200円

13,100円

18,300円

AP-200074

電子ビーム蒸着装置

エイコーエンジニアリング

EB-580S

24,000円

26,400円

1,800円

2,100円

2,800円

5,800円

6,500円

7,200円

9,800円

10,900円

11,600円

AP-200075

レーザー顕微鏡

キーエンス

VK-9700/9710

24,000円

26,400円

600円

700円

1,400円

4,600円

5,100円

5,800円

8,600円

9,500円

10,200円

AP-200076

UV-オゾンクリーナー

サムコ

UV-1

8,000円

8,800円

600円

600円

600円

4,600円

5,000円

5,000円

8,600円

9,400円

9,400円

AP-200077

光学干渉式膜厚計

フィルメトリクス

F20-UV

24,000円

26,400円

600円

700円

900円

4,600円

5,100円

5,300円

8,600円

9,500円

9,700円

AP-200078

原子層堆積装置(粉末対応型)

ピコサン

R-200 advanced

24,000円

26,400円

3,200円

4,100円

7,400円

7,200円

8,500円

11,800円

11,200円

12,900円

16,200円

AP-200079

精密イオンミリングシステム

Gatan

PIPSⅡ model 695

32,000円

35,200円

1,200円

1,300円

1,400円

5,200円

5,700円

5,800円

9,200円

10,100円

10,200円

AP-200080

レーザー描画装置

ハイデルベルグ・インストルメンツ

DWL66HK

32,000円

35,200円

4,000円

5,000円

8,500円

8,000円

9,400円

12,900円

12,000円

13,800円

17,300円

AP-200081

集束イオンビーム加工観察装置

日本電子

JEM-9320FIB

0円

0円

1,600円

2,100円

4,800円

5,600円

6,500円

9,200円

9,600円

10,900円

13,600円

AP-200082

X線光電子分光装置

日本電子

JPS-9200

28,000円

30,800円

1,000円

1,600円

5,300円

5,000円

6,000円

9,700円

9,000円

10,400円

14,100円

AP-200083

プラズマ式原子層堆積装置

サムコ

AD-230LP-H

32,000円

35,200円

3,200円

4,400円

10,300円

7,200円

8,800円

14,700円

11,200円

13,200円

19,100円

AP-200084

卓上型ランプ加熱装置

アドバンス理工

MILA-5000-P-N

32,000円

35,200円

1,500円

1,600円

1,700円

5,500円

6,000円

6,100円

9,500円

10,400円

10,500円

AP-200085

量子・電子制御ナノマテリアル顕微物性測定装置

日本電子

JEM-ARM200F NEOARM

32,000円

35,200円

3,200円

5,200円

12,200円

7,200円

9,600円

16,600円

11,200円

14,000円

21,000円

AP-200086

ガラスインプリント装置

芝浦機械

GMP-415V

32,000円

35,200円

1,500円

2,000円

4,600円

5,500円

6,400円

9,000円

9,500円

10,800円

13,400円

AP-200087

顕微紫外可視分光装置

日本分光

MSV-5200

8,000円

8,800円

1,800円

2,100円

3,200円

5,800円

6,500円

7,600円

9,800円

10,900円

12,000円

AP-200088

微細形状測定機

小坂研究所

ET200

16,000円

17,600円

500円

600円

800円

4,500円

5,000円

5,200円

8,500円

9,400円

9,600円

AP-200089

マニュアルスパッタ

(自作)

-

16,000円

17,600円

600円

700円

1,100円

4,600円

5,100円

5,500円

8,600円

9,500円

9,900円

AP-200090

ラマンイメージング装置

堀場製作所

HR-Evolution type pa nano

24,000円

26,400円

2,500円

2,900円

4,200円

6,500円

7,300円

8,600円

10,500円

11,700円

13,000円

AP-200091

ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)

日本電子

JSM-7200F

8,000円

8,800円

2,100円

2,500円

4,100円

6,100円

6,900円

8,500円

10,100円

11,300円

12,900円

AP-200092

触針式プロファイラー(段差計)

KLA-Tencor

Alpha-Step D-500

24,000円

26,400円

300円

400円

700円

4,300円

4,800円

5,100円

8,300円

9,200円

9,500円

別表第2の2(第6条関係)

設備番号

設備

メーカー

型式

基本料

(学内者)

基本料

(学外者)

利用料

(1時間当たり)

(学内者)

利用料

(1時間当たり)

(学外者(大学・公的機関))

利用料

(1時間当たり)

(学外者(一般))

技術補助料

(1時間当たり)

(学内者)

技術補助料

(1時間当たり)

(学外者(大学・公的機関))

技術補助料

(1時間当たり)

(学外者(一般))

技術代行料

(1時間当たり)

(学内者)

技術代行料

(1時間当たり)

(学外者(大学・公的機関))

技術代行料

(1時間当たり)

(学外者(一般))

AP-200001

超高精度電子ビーム描画装置 125kV

エリオニクス

ELS-F125-U

32,000円

35,200円

5,800円

9,000円

26,700円

9,800円

13,400円

31,100円

13,800円

17,800円

35,500円

AP-200002

超高精度電子ビーム描画装置 100kV

エリオニクス

ELS-7000HM

32,000円

35,200円

3,800円

6,700円

23,900円

7,800円

11,100円

28,300円

11,800円

15,500円

32,700円

AP-200003

マスクアライナー

ミカサ

MA-20

12,000円

13,200円

1,500円

1,800円

2,600円

5,500円

6,200円

7,000円

9,500円

10,600円

11,400円

AP-200004

レーザー描画装置

ネオアーク

DDB-201-200

20,000円

22,000円

600円

1,100円

3,800円

4,600円

5,500円

8,200円

8,600円

9,900円

12,600円

AP-200005

真空蒸着装置

サンバック

ED-1500R

20,000円

22,000円

1,600円

1,800円

2,500円

5,600円

6,200円

6,900円

9,600円

10,600円

11,300円

AP-200006

プラズマCVD装置

サムコ

PD-220ESN

20,000円

22,000円

1,500円

2,200円

5,700円

5,500円

6,600円

10,100円

9,500円

11,000円

14,500円

AP-200007

液体ソースプラズマCVD装置

サムコ

PD-10C1

20,000円

22,000円

700円

800円

1,000円

4,700円

5,200円

5,400円

8,700円

9,600円

9,800円

AP-200008

ヘリコンスパッタリング装置

アルバック

MPS-4000C1/HC1

12,000円

13,200円

3,800円

4,400円

6,000円

7,800円

8,800円

10,400円

11,800円

13,200円

14,800円

AP-200009

イオンビームスパッタ装置

アルバック

IBS-6000S

12,000円

13,200円

1,700円

1,900円

2,600円

5,700円

6,300円

7,000円

9,700円

10,700円

11,400円

AP-200010

原子層堆積装置

ピコサン

SUNALE-R

12,000円

13,200円

3,000円

3,700円

6,500円

7,000円

8,100円

10,900円

11,000円

12,500円

15,300円

AP-200012

反応性イオンエッチング装置

サムコ

RIE-101iPH

12,000円

13,200円

2,200円

2,900円

5,500円

6,200円

7,300円

9,900円

10,200円

11,700円

14,300円

AP-200013

反応性イオンエッチング装置

サムコ

RIE-10NRV

12,000円

13,200円

2,300円

2,800円

5,200円

6,300円

7,200円

9,600円

10,300円

11,600円

14,000円

AP-200014

ドライエッチング装置

アルバック

NLD-500

12,000円

13,200円

1,200円

1,500円

2,300円

5,200円

5,900円

6,700円

9,200円

10,300円

11,100円

AP-200015

イオンミリング装置

アルバック

IBE-6000S

12,000円

13,200円

1,200円

1,400円

1,900円

5,200円

5,800円

6,300円

9,200円

10,200円

10,700円

AP-200017

電界放射型走査型電子顕微鏡

日本電子

JSM-6700FT

20,000円

22,000円

1,200円

1,400円

1,400円

5,200円

5,800円

5,800円

9,200円

10,200円

10,200円

AP-200018

電子ビーム描画装置

エリオニクス

ELS-3700

24,000円

26,400円

1,000円

1,300円

2,300円

5,000円

5,700円

6,700円

9,000円

10,100円

11,100円

AP-200019

電子線描画装置

エリオニクス

ELS-7300

64,000円

70,400円

1,400円

2,200円

6,400円

5,400円

6,600円

10,800円

9,400円

11,000円

15,200円

AP-200020

両面マスクアライナ

ズースマイクロテック

MA-6

16,000円

17,600円

800円

1,200円

3,800円

4,800円

5,600円

8,200円

8,800円

10,000円

12,600円

AP-200021

ECR加工装置

エリオニクス

EIS-200ER

40,000円

44,000円

1,000円

1,200円

1,900円

5,000円

5,600円

6,300円

9,000円

10,000円

10,700円

AP-200022

ICP加工装置

エリオニクス

EIS-700S

24,000円

26,400円

1,200円

1,300円

1,300円

5,200円

5,700円

5,700円

9,200円

10,100円

10,100円

AP-200023

超高真空5源ヘリコンスパッタ

菅製作所

Av028

24,000円

26,400円

1,300円

1,700円

3,100円

5,300円

6,100円

7,500円

9,300円

10,500円

11,900円

AP-200024

ALD製膜装置

Cambride NanoTech

Savannah 100

24,000円

26,400円

1,500円

1,900円

3,500円

5,500円

6,300円

7,900円

9,500円

10,700円

12,300円

AP-200026

スパッタ装置

キヤノンアネルバ

SPF-210H

24,000円

26,400円

300円

400円

600円

4,300円

4,800円

5,000円

8,300円

9,200円

9,400円

AP-200027

EB加熱・抵抗加熱蒸着装置

アルバック

EBX-8C

32,000円

35,200円

2,400円

2,600円

3,100円

6,400円

7,000円

7,500円

10,400円

11,400円

11,900円

AP-200028

EB加熱・抵抗加熱蒸着装置

菅製作所

AV096-000

16,000円

17,600円

1,800円

2,100円

3,500円

5,800円

6,500円

7,900円

9,800円

10,900円

12,300円

AP-200029

FIB加工装置

エリオニクス

EIP-3300

40,000円

44,000円

1,700円

1,900円

2,500円

5,700円

6,300円

6,900円

9,700円

10,700円

11,300円

AP-200034

ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)

日本電子

JSM-6500F

32,000円

35,200円

2,200円

2,900円

5,500円

6,200円

7,300円

9,900円

10,200円

11,700円

14,300円

AP-200035

超高真空・極低温・高磁場SPM(LT-UHV-SPM)

日本電子

JAFM4500LT

24,000円

26,400円

800円

1,900円

8,800円

4,800円

6,300円

13,200円

8,800円

10,700円

17,600円

AP-200036

超高圧電子顕微鏡群

日本電子

JEM-ARM1300

64,000円

70,400円

4,000円

4,600円

6,400円

8,000円

9,000円

10,800円

12,000円

13,400円

15,200円

AP-200039

電界放射型電子顕微鏡(200kV FEG-TEM)

日本電子

JEM-2010F

64,000円

70,400円

2,800円

3,100円

3,100円

6,800円

7,500円

7,500円

10,800円

11,900円

11,900円

AP-200041

超薄膜評価装置

日立

HD-2000

16,000円

17,600円

2,300円

3,300円

9,000円

6,300円

7,700円

13,400円

10,300円

12,100円

17,800円

AP-200042

集束イオンビーム加工観察装置

日立

FB-2100

20,000円

22,000円

2,300円

2,900円

6,000円

6,300円

7,300円

10,400円

10,300円

11,700円

14,800円

AP-200043

透過電子顕微鏡(TEM)

日本電子

JEM-2010

32,000円

35,200円

2,100円

2,800円

5,600円

6,100円

7,200円

10,000円

10,100円

11,600円

14,400円

AP-200045

フィールドエミッション電子プローブマイクロアナライザ(FE-EPMA)

日本電子

JXA-8530F

32,000円

35,200円

3,300円

4,600円

10,800円

7,300円

9,000円

15,200円

11,300円

13,400円

19,600円

AP-200046

複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM)

日本電子

JIB-4601F

32,000円

35,200円

3,600円

4,300円

7,100円

7,600円

8,700円

11,500円

11,600円

13,100円

15,900円

AP-200047

複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM)EDS・EBSDオプション

日本電子

JED-2300(EDS)、IB-Z10053T3DEBS(EBSD)

0円

0円

400円

500円

1,000円

400円

500円

1,000円

400円

500円

1,000円

AP-200052

オージェ電子分光装置

日本電子

JAMP-9500F

32,000円

35,200円

1,800円

3,000円

10,000円

5,800円

7,400円

14,400円

9,800円

11,800円

18,800円

AP-200053

X線光電子分光装置

日本電子

JPS-9200

32,000円

35,200円

1,500円

2,300円

6,900円

5,500円

6,700円

11,300円

9,500円

11,100円

15,700円

AP-200054

スピンSEM

エイコーエンジニアリング

-

24,000円

26,400円

2,500円

2,800円

3,300円

6,500円

7,200円

7,700円

10,500円

11,600円

12,100円

AP-200055

超高真空STM・スピン偏極STM装置

オミクロン

STM/AFM、VT-STM

24,000円

26,400円

3,300円

3,900円

5,900円

7,300円

8,300円

10,300円

11,300円

12,700円

14,700円

AP-200056

時間分解光電子顕微鏡システム

エルミテック

PEEM-Ⅲ

128,000円

140,800円

2,600円

3,400円

7,100円

6,600円

7,800円

11,500円

10,600円

12,200円

15,900円

AP-200057

ナノカーボン成長炉

ナノデバイス

Easy tube system

40,000円

44,000円

500円

500円

500円

4,500円

4,900円

4,900円

8,500円

9,300円

9,300円

AP-200058

エリプソメータ

日本分光

M-500S

5,600円

6,200円

100円

200円

900円

4,100円

4,600円

5,300円

8,100円

9,000円

9,700円

AP-200059

超高速スキャン高精度電子ビーム露光装置

エリオニクス

ELS-F130HM

32,000円

35,200円

5,800円

10,100円

35,500円

9,800円

14,500円

39,900円

13,800円

18,900円

44,300円

AP-200060

半導体薄膜堆積装置

パスカル

PAC-LMBE

32,000円

35,200円

2,200円

3,100円

7,400円

6,200円

7,500円

11,800円

10,200円

11,900円

16,200円

AP-200061

高分解能3次元構造評価装置

日本FEI

Titan3 G2 60-300

64,000円

70,400円

4,700円

9,500円

38,300円

8,700円

13,900円

42,700円

12,700円

18,300円

47,100円

AP-200062

収差補正走査型透過電子顕微鏡

日本電子

JEM-ARM200F

40,000円

44,000円

4,000円

6,500円

20,500円

8,000円

10,900円

24,900円

12,000円

15,300円

29,300円

AP-200063

電子線三次元粗さ解析装置

エリオニクス

ERA-8000FE

32,000円

35,200円

1,400円

1,500円

1,600円

5,400円

5,900円

6,000円

9,400円

10,300円

10,400円

AP-200064

走査型プローブ顕微鏡

エスアイアイ・ナノテクノロジー

NanoNavi Station SPA300

32,000円

35,200円

200円

200円

400円

4,200円

4,600円

4,800円

8,200円

9,000円

9,200円

AP-200065

超高真空AFM

日本電子

JAFM-4500XT

192,000円

211,200円

1,300円

1,500円

2,000円

5,300円

5,900円

6,400円

9,300円

10,300円

10,800円

AP-200066

コンパクトスパッタ装置

アルバック

ACS-4000-C3-HS

12,000円

13,200円

3,100円

3,800円

6,100円

7,100円

8,200円

10,500円

11,100円

12,600円

14,900円

AP-200067

ICP高密度プラズマエッチング装置

サムコ

RIE-101iHS

12,000円

13,200円

1,500円

2,400円

7,300円

5,500円

6,800円

11,700円

9,500円

11,200円

16,100円

AP-200068

スパッタ装置

菅製作所

SSP3000Plus

24,000円

26,400円

600円

800円

2,000円

4,600円

5,200円

6,400円

8,600円

9,600円

10,800円

AP-200069

ダイシングソー

DISCO

DAD322

16,000円

17,600円

700円

800円

1,300円

4,700円

5,200円

5,700円

8,700円

9,600円

10,100円

AP-200070

大気中光電子分光装置

理研計器

AC-3

12,000円

13,200円

2,300円

2,900円

5,400円

6,300円

7,300円

9,800円

10,300円

11,700円

14,200円

AP-200071

超高分解能走査型電子顕微鏡

日立ハイテクノロジーズ

SU8230

24,000円

26,400円

2,300円

2,900円

5,800円

6,300円

7,300円

10,200円

10,300円

11,700円

14,600円

AP-200072

多元スパッタ装置

アルバック

QAM-4-ST

24,000円

26,400円

6,200円

7,100円

9,000円

10,200円

11,500円

13,400円

14,200円

15,900円

17,800円

AP-200073

シリコン深堀りエッチング装置

SPPテクノロジーズ

APX-ASE-Pegasus-Polestar

32,000円

35,200円

4,100円

5,500円

12,200円

8,100円

9,900円

16,600円

12,100円

14,300円

21,000円

AP-200074

電子ビーム蒸着装置

エイコーエンジニアリング

EB-580S

24,000円

26,400円

2,300円

2,600円

3,600円

6,300円

7,000円

8,000円

10,300円

11,400円

12,400円

AP-200075

レーザー顕微鏡

キーエンス

VK-9700/9710

24,000円

26,400円

700円

900円

1,800円

4,700円

5,300円

6,200円

8,700円

9,700円

10,600円

AP-200076

UV-オゾンクリーナー

サムコ

UV-1

8,000円

8,800円

700円

800円

800円

4,700円

5,200円

5,200円

8,700円

9,600円

9,600円

AP-200077

光学干渉式膜厚計

フィルメトリクス

F20-UV

24,000円

26,400円

700円

800円

1,100円

4,700円

5,200円

5,500円

8,700円

9,600円

9,900円

AP-200078

原子層堆積装置(粉末対応型)

ピコサン

R-200 advanced

24,000円

26,400円

4,100円

5,200円

9,500円

8,100円

9,600円

13,900円

12,100円

14,000円

18,300円

AP-200079

精密イオンミリングシステム

Gatan

PIPSⅡ model 695

32,000円

35,200円

1,500円

1,700円

1,800円

5,500円

6,100円

6,200円

9,500円

10,500円

10,600円

AP-200080

レーザー描画装置

ハイデルベルグ・インストルメンツ

DWL66HK

32,000円

35,200円

5,200円

6,400円

10,900円

9,200円

10,800円

15,300円

13,200円

15,200円

19,700円

AP-200081

集束イオンビーム加工観察装置

日本電子

JEM-9320FIB

0円

0円

2,000円

2,700円

6,200円

6,000円

7,100円

10,600円

10,000円

11,500円

15,000円

AP-200082

X線光電子分光装置

日本電子

JPS-9200

28,000円

30,800円

1,200円

2,100円

6,800円

5,200円

6,500円

11,200円

9,200円

10,900円

15,600円

AP-200083

プラズマ式原子層堆積装置

サムコ

AD-230LP-H

32,000円

35,200円

4,100円

5,700円

13,200円

8,100円

10,100円

17,600円

12,100円

14,500円

22,000円

AP-200084

卓上型ランプ加熱装置

アドバンス理工

MILA-5000-P-N

32,000円

35,200円

1,900円

2,100円

2,100円

5,900円

6,500円

6,500円

9,900円

10,900円

10,900円

AP-200085

量子・電子制御ナノマテリアル顕微物性測定装置

日本電子

JEM-ARM200F NEOARM

32,000円

35,200円

4,100円

6,700円

15,600円

8,100円

11,100円

20,000円

12,100円

15,500円

24,400円

AP-200086

ガラスインプリント装置

芝浦機械

GMP-415V

32,000円

35,200円

1,900円

2,600円

5,900円

5,900円

7,000円

10,300円

9,900円

11,400円

14,700円

AP-200087

顕微紫外可視分光装置

日本分光

MSV-5200

8,000円

8,800円

2,200円

2,700円

4,100円

6,200円

7,100円

8,500円

10,200円

11,500円

12,900円

AP-200088

微細形状測定機

小坂研究所

ET200

16,000円

17,600円

600円

800円

1,100円

4,600円

5,200円

5,500円

8,600円

9,600円

9,900円

AP-200089

マニュアルスパッタ

(自作)

-

16,000円

17,600円

700円

900円

1,400円

4,700円

5,300円

5,800円

8,700円

9,700円

10,200円

AP-200090

ラマンイメージング装置

堀場製作所

HR-Evolution type pa nano

24,000円

26,400円

3,200円

3,700円

5,400円

7,200円

8,100円

9,800円

11,200円

12,500円

14,200円

AP-200091

ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)

日本電子

JSM-7200F

8,000円

8,800円

2,600円

3,200円

5,200円

6,600円

7,600円

9,600円

10,600円

12,000円

14,000円

AP-200092

触針式プロファイラー(段差計)

KLA-Tencor

Alpha-Step D-500

24,000円

26,400円

400円

500円

900円

4,400円

4,900円

5,300円

8,400円

9,300円

9,700円

国立大学法人北海道大学マテリアル先端リサーチインフラ事業による設備利用規程

平成25年4月1日 海大達第53号

(令和6年10月1日施行)

体系情報
第9編
沿革情報
平成25年4月1日 海大達第53号
平成25年10月1日 海大達第104号
平成27年4月1日 海大達第20号
平成27年7月1日 海大達第219号
平成30年10月1日 海大達第142号
平成30年12月1日 海大達第157号
平成31年4月1日 海大達第85号
令和元年10月1日 海大達第196号
令和2年4月1日 海大達第77号
令和4年4月1日 海大達第82号
令和4年10月1日 海大達第155号
令和5年7月1日 海大達第137号
令和5年10月1日 海大達第158号
令和6年1月1日 海大達第8号
令和6年4月1日 海大達第80号
令和6年10月1日 海大達第144号